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真（zhēn）空爐的真空度測量

2021-03-24  瀏覽：2138次

　　真空測量是真空技術中的一個重要組成（chéng）部分。用（yòng）於測量真空度的儀器稱為真空計。  真（zhēn）空（kōng）熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離（lí）真空（kōng）計等。它們的工作原理如下：

　　（一）熱偶真空計

　　熱偶真（zhēn）空計由敏（mǐn）感元件、熱偶規管和測量儀器組成。熱偶規管與被（bèi）測真空係統相通，外殼為玻璃管，管內有加（jiā）熱（rè）絲和熱偶（ǒu）絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時（shí），由（yóu）於溫差效應，在回路中有熱電勢產（chǎn）生（shēng）。如加熱絲（sī）電（diàn）壓保持恒定，則熱偶絲　　的電勢限決（jué）於加熱絲的溫（wēn）度，而加熱絲的溫（wēn）度與被測氣體的壓（yā）強有關。壓強低，氣體熱導率小，被（bèi）氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高（gāo），熱偶絲（sī）的熱電勢增大；反（fǎn）之，則熱電勢減少。回路中的熱電勢用毫伏表測量，表中（zhōng）的毫伏數即反映出真空

　　度的高低。為（wéi）了保證加（jiā）熱絲的（de）電壓穩定，而接入了穩壓電源。所以測量（liàng）儀器是由測（cè）量熱電（diàn）勢的毫伏表（biǎo）和規管加熱（rè）絲穩壓（yā）電源兩部分組成（chéng）。

　　（二）電離真空計

　　這種真空計（jì）主要用於測量（liàng）高真空度。在低壓強（qiáng）氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數（shù）與（yǔ）氣體壓強成正比按照離產生（shēng）的方（fāng）法不同，利用熱陰極發射電子使氣體（tǐ）電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其（qí）中，熱（rè）陰極電離真空計由熱陰（yīn）極規管（guǎn）和測量儀器組成（chéng）。測量（liàng）儀（yí）器由規管工作（zuò）電（diàn）源、發射電流穩壓器、離子流測（cè）量放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空係統相通。熱陰極電離規管（guǎn）是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對於（yú）陰極電負電位；柵極相對於陰極電正電位。當電離規管通電加熱後，陰（yīn）極發射電（diàn）子，在電子到達柵極的過程中（zhōng），與氣體分子碰撞而產生（shēng）正離子和電子的電離現象。當發射電流一定時，正離子數日與被測（cè）氣體壓強成正比。正離子被收集極收集後，經測量電路放大，可由（yóu）批示電表讀出所要測量的真空度（dù）。

　　（三（sān））複合真空計

　　通常，對低真空（kōng）和高真空的測（cè）量不能用（yòng）一種真（zhēn）空計來完成，而應采（cǎi）用複合真空計，應用較多的是電離與熱偶式（shì）複合（hé）真空計。它的測量範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（liàng）（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測（cè）量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。複合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管，分別接（jiē）在真空係統上（shàng），通過旋鈕可分別（bié）給兩個規管加熱，並（bìng）選擇使用。


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