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真空爐的真(zhēn)空(kōng)度測量

2021-03-24  瀏覽:2245次

  真(zhēn)空測量是真空技術中的一個重要組成部分。用於測量(liàng)真空度的儀器稱為真空計。  真空熱處理爐及真空熔煉爐常(cháng)用的真空計有:熱偶真空計電離真空計等。它們(men)的(de)工作原理(lǐ)如下:

  (一)熱偶真空計

  熱偶真空計由敏感元件、熱偶規管和(hé)測量儀器組成。熱偶規管與被(bèi)測真空係統相通,外殼為玻璃管(guǎn),管內(nèi)有加熱絲和熱(rè)偶絲。熱偶絲(sī)的冷端和熱端溫度不同時,由於溫差效應,在回路中(zhōng)有熱電(diàn)勢產生。如加熱絲電壓保持恒定,則熱偶絲  的電勢限決於加熱絲的溫度,而加熱(rè)絲的溫度與被測氣體的壓強有關。壓強低,氣體熱導率小,被氣體帶走的熱量少,加熱絲溫度升高,熱偶絲的熱(rè)電勢增大;反之,則熱(rè)電勢減少。回路中的熱電(diàn)勢用毫伏表測量,表中的毫(háo)伏數即反映出真空

  度的高低。為(wéi)了保證加熱絲的電壓(yā)穩定(dìng),而接入了穩壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩壓電源兩部分組成。

  (二)電離真空計

  這種真(zhēn)空計主(zhǔ)要用於測量高真空度。在低壓強氣體中,氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比按(àn)照離產生的方法不同,利用熱陰極發射電子使氣體電離的真(zhēn)空計叫熱陰極電離真空計;其中(zhōng),熱陰極電離(lí)真空計由熱(rè)陰極規管和測量儀器組成。測量儀器由規管工作電源、發射電流穩壓器(qì)、離(lí)子流測量放大器等部分(fèn)組成。熱陰極電(diàn)離規管與被(bèi)測真空係統相通。熱陰極電離規管是一個三極管,管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對於陰極電負電位;柵極(jí)相對於(yú)陰極電正電位。當電離規管通電加熱後,陰極發射電子,在電(diàn)子(zǐ)到達柵極的過程中,與(yǔ)氣體分子碰撞而(ér)產生正離子和電子的電離現象。當發射電流一定時,正離子(zǐ)數日與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集後,經測量電路放大,可由(yóu)批示電表讀出(chū)所要測量的真(zhēn)空度。

  (三)複合真空計

  通常,對低真空和高真空的測量不能用一種(zhǒng)真空計來完成(chéng),而應采用複合真空計,應用較多的是電離與熱偶式複合真空(kōng)計。它的測量範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測(cè)量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;電離真(zhēn)空計測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。複合真空計(jì)附有一個熱偶規管、一個電離規管,分(fèn)別接在真空係統上,通過旋鈕可分別給兩個規管加熱,並選擇使用。


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